第9章 龙科院震动!技术是真的!(1 / 2)
“这是锡蒸汽的加热装置!”
“这是高功率激光击打装置!”
“激光击打在锡蒸汽上,加热到上千摄氏度,从而出现高能粒子,碰撞使得原子的能级跃迁,这一过程中会释放出以光子为载体的能量,这些拥有极短的波长,通过对激光器的精准控制,击落在半导体上,从而可以实现曝光与刻蚀。”
“这款装置的波长在10纳米左右!”
“王院士,你还有什么疑问吗?”
林北一边滑动着笔记本电脑的屏幕,一边对手机那头的王秋介绍道。
他之所以还是选择给王秋看,而不担心技术泄露,主要原因还是在于光刻机所需要的工艺实在是太复杂了!
光源技术虽然是核心,但只有光源技术还远远不够!
一台光刻机光是零件就有数万个!
8nm光刻机所需要的零件数高达数十万个!
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