第二百七十一章 成功了!光刻工厂实现了!(1 / 2)

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3纳米极紫外光?

检测光束设备给出的数据反馈让所有人大吃一惊,3纳米的极紫外光束,这岂不是说他们即将具备制造3纳米芯片的条件?

众所周知,在不考虑《多重曝光技术》的情况下,想要刻出几纳米级的芯片,就要先制造出多少纳米的紫外光光源。

193纳米的深紫外光还好说,大自然里面也能找得到,但13.5纳米及以下的极紫外光,那就必须由人为创造。

深紫外光和极紫外光,和分别对应了DUV光刻机和EUV光刻机,后者现在还处于禁止出口龙国的设备清单里面。

一旦这束光源被证实,确实是可以运用于光刻的极紫外光,那么整个芯片行业都将被颠覆。

“真是3纳米吗?”

夏扬神色激动,向前一步。

他大学虽然学的不是半导体,但这并不代表他不懂芯片制造。

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